半导体生产设备有哪些?半导体生产设备主要包括以下几类：前道晶圆制造设备：单晶生长炉：用于通过CZ法生长单晶硅，是硅片制造的核心设备。光刻机：技术含量极高的设备，用于在硅片上进行微细图形的加工，是半导体制造中的关键环节。清洗设备：清洗设备在半导体制造...