光刻机的生产国家有荷兰、中国、日本、美国、韩国。相对于其他国家来说,目前的荷兰光刻机的精度为首。
ASML在光刻机生产的大部分零部件都是从国外进口的。专业光刻机检测采用美国技术,也采用蔡司,德国的光学镜头这些都是世界顶尖技术,并不是所有都可以归一个国家所有。光刻机是人类最高智慧的结晶,需要长期的科研投入和技术积累。
台积电的光刻机是买的荷兰ASML公司的。
根据外媒的爆料,台积电为了进一步提升自己的实力。又从荷兰ASML公司进口了55台光刻机,据了解。
荷兰ASML这家公司是全球光刻机的王者,但这家公司很多核心技术都需要欧洲和美国相关的科技公司提供。所以,有了美系科技公司在里面,受到禁令的影响,那我们自然就很难买到了。一方面台积电自身有很强的美系背景,另外一个就是台积电对荷兰AMSL有恩。
20多年前,那时候荷兰ASML刚刚独立,曾因经营不善差点玩完,后来是张忠谋的台积电给他下了订单,荷兰ASML这家公司起死回生!所以,有了这层关系在,双方开始了长达几十年的蜜月期!
光刻机的品牌
光刻机的品牌众多,根据采用不同技术路线的可以归纳成如下几类:
高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机两种,分辨率通常七纳米至几微米之间,高端光刻机号称世界上最精密的仪器。
高端光刻机堪称现代光学工业之花,其制造难度之大,全世界只有少数几家公司能够制造。国外品牌主要以荷兰ASML(镜头来自德国),日本Nikon(intel曾经购买过Nikon的高端光刻机)和日本Canon三大品牌为主。
全世界只有中国、日本、荷兰可以制造光刻机,日本的代表企业是尼康、佳能,曾经的光刻机“王者”,后来被荷兰ASML反超后就一蹶不振了,而中国也可以制造光刻机,只是达不到顶尖光刻机的精细程度。
目前,荷兰ASML一家公司几乎垄断了全球的高端光刻机市场,主要是EUV光刻机,造价极高,暂时没有一家竞争企业可以与之匹敌,每年稳定向大客户供货。
光刻机的分类
光刻机一般根据操作的简便性分为三种,手动、半自动、全自动。
1、手动:指的是对准的调节方式,是通过手调旋钮改变它的X轴,Y轴和thita角度来完成对准,对准精度可想而知不高了。
2、半自动:指的是对准可以通过电动轴根据CCD的进行定位调谐。
3、自动:指的是从基板的上载下载,曝光时长和循环都是通过程序控制,自动光刻机主要是满足工厂对于处理量的需要。
台积电的光刻机是ASML公司的,台积电是芯片生产企业,持有ASML的股份。
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