纳米技术光刻机（七纳米光刻机技术）

中国光刻机现在多少纳米

中国光刻机现在达到了22纳米。在上海微电子技术取得突破之前，我国国产的光刻机一直停留在只能制造90nm制程的芯片。

这次我国直接从90nm突破到了22nm也就意味着我国在光刻机制造的一些关键核心领域上已经实现了国产化。而自己掌握核心技术有多重要自然不言而喻，在突破关键领域以后，更高阶的光刻机的研发速度只会越来越快。国产光刻机突破封锁，成功研制22nm光刻机，中国芯正在逐渐崛起。

高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机两种，分辨率通常七纳米至几微米之间，高端光刻机号称世界上最精密的仪器，世界上已有1.2亿美金一台的光刻机。高端光刻机堪称现代光学工业之花，其制造难度之大，全世界只有少数几家公司能够制造。

5纳米光刻机什么意思

意思就是可以制造5nm芯片的机器。光刻机又被称为掩膜对准曝光机，在芯片生产中用于光刻工艺，而光刻工艺又是生产流程中最关键的一步，所以光刻机又是芯片生产中不可缺少的设备，总得来说光刻机是用来制造芯片的。5nm是指处理器的制程工艺。(补充：晶体管之间的距离，距离越小晶体管就越多，所以性能就越好。

三纳米光刻机是什么

3纳米，是指节点技术的关键尺寸，而这个尺寸不是芯片能用肉眼看到的几何尺寸(一般是毫米到厘米级别），而一般是指栅极长度（gate length）。这个长度是又掩膜版上定义好的尺寸决定的，而在生产过程中决定性的由光刻机来实现（当然也要有光刻胶，腐蚀等技术的支持才能实现）。

1、集成电路尺寸的缩小，也就意味着器件(也叫晶体管)的进一步缩小，也意味着栅长的缩小，栅极的缩小是提升器件开断频率的重要方法之一。频率高了当然就意味着芯片快。

2、但是呢，栅长的减小，导致这个器件很容易烧坏，进而导致整个芯片的瘫痪，比如英伟达A100，采用7nm工艺制造，集成超过540亿个晶体管。虽然芯片出炉的时候就已经做了检测，且集成电路设计中也已做了这方面的考虑，但是这也不能动不动就坏一个吧。

以上两个矛盾之间在一代一代的磨合中实现螺旋式上升，促进了集成电路乃至互联网的大发展。

期间，就是现在好多科研工作者做的事情，想出了千奇百怪的结构优化设计和材料的筛选与改造。这涉及了物理、材料、工艺实现的高精度等富有极大挑战的科学技术，器件栅长的缩小也意味着多方面科学技术的突破。